SolidSpec-3700i/3700iDUV - Applications

Spectrophotomètre UV-VIS-NIR

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Comparaison des modèles à 2 et 3 détecteurs

Un détecteur InGaAs est nouvellement utilisé, en plus du tube photomultiplicateur (PMT) et des détecteurs PbS refroidis.
Il en résulte moins de bruit de fond que le modèle à deux détecteurs (PMT et PbS), en particulier dans la région couverte par le détecteur InGaAs (900 à 1600 nm).

Comparison of 2-Detector and 3-Detector Models

Mesure de haute précision avec un bruit de commutation du détecteur et un à-coup minimisés

Le bruit et les à-coups provoqués par la commutation du détecteur sont minimisés afin de garantir la précision des mesures.

Noise and bump caused by detector switchover are minimized

Les spectres de transmission du filtre coloré et du film polyester sont présentés respectivement dans les figures de gauche et de droite.
Le bruit ou la perturbation de ligne de base causés par la plage de commutation du détecteur à 870 nm et 1650 nm sont à peine observés.

Sphère d'intégration pour la mesure de l'ultraviolet profond

Integrating Sphere for Deep Ultraviolet Measurement

Des spectres à faible bruit peuvent être obtenus même pour des longueurs d'onde proches de 190 nm, qui sont difficiles à mesurer avec précision à l'aide d'un spectrophotomètre ordinaire. La possibilité de mesurer des spectres dans cette gamme de longueurs d'onde est particulièrement utile pour mesurer les matériaux semi-conducteurs utilisés pour les lasers excimères ArF.

Les spectres de référence à 100 % mesurés sur le SolidSpec-3700i DUV avec une sphère d'intégration pour les mesures dans l'ultraviolet profond et sur le SolidSpec-3700i avec une sphère d'intégration normale sont illustrés dans la figure de gauche.

Application pour la région de l'ultraviolet lointain

Application for Deep Ultraviolet Region

Pour effectuer des mesures de haute précision dans la région des UV lointains, il faut une quantité suffisante de lumière et une faible quantité de lumière parasite. Le spectre de transmission d'une plaque de silice mesuré avec l'unité de détection directe DDU-DUV (option) est illustré dans la figure de gauche. Des spectres nettement moins bruyants peuvent être obtenus dans le domaine de l'ultraviolet.